EUVリソグラフィー

最終更新日 2023年09月07日

基礎

EUVリソグラフィーとはExtreme UltraVioletリソグラフィーの略で、極紫外線を使用するフォトリソグラフィーです。イーユーブイ・リソグラフィーと読みます。リソグラフィーを英語にするとLithographyです。この頭文字Lを使用し、EUVLと呼ぶ場合もあります。極紫外線リソグラフィー、極端紫外線リソグラフィーの呼び方もあります。

極紫外線とは波長が1〜10nmの紫外線です。極紫外線を使用することで、従来よりも半導体チップのプロセスルールの微細化を進められます。

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