フォトリソグラフィー
最終更新日
2024年02月20日
フォトリソグラフィーとは
基礎
フォトリソグラフィーとは、ウェハー上にフォトレジストを塗り、フォトマスクを重ねて光を照射し、エッチング等を行い集積回路を製造する技術です。他の呼び方には、光リソグラフィー、リソグラフィーがあります。ウェハー
ウェハーとは、集積回路を作るための基礎となる薄片です。フォトレジスト
フォトレジストとは、可視光、紫外線等の光を照射すると変成する素材です。フォトマスク
フォトマスクとは、回路のパターンの原板です。エッチング
エッチングとは、集積回路を作るために、不要な部分を腐食・分解して取り去ることです。出典
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