フォトレジスト
最終更新日
2024年02月20日
フォトレジストとは
基礎
フォトレジストとは、可視光、紫外線等の光を照射すると変成する素材です。他の呼び方には、光レジストがあります。変成した部分が薬品に溶けにくくなる、または溶けやすくなります。
フォトレジストはレジストの一種
可視光、紫外線、X線、電子線等を照射すると変成する素材をレジストと呼びますが、レジストの一種がフォトレジストです。出典
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