ドライエッチング

最終更新日 2024年02月20日

基礎

ドライエッチングとは、集積回路を作るためにプラズマガスやイオンを使用し不要な部分を取り去ることです。他の呼び方には、乾式エッチングがあります。

ドライエッチングはエッチングの一種

ドライエッチングはエッチングの一種です。エッチングとは、集積回路を作るために、不要な部分を腐食・分解して取り去ることです。

・ドライエッチング（dry etching）とは？ 意味・読み方・使い方をわかりやすく解説 - goo国語辞書

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