ドライエッチング
最終更新日
2024年02月20日
ドライエッチングとは
基礎
ドライエッチングとは、集積回路を作るためにプラズマガスやイオンを使用し不要な部分を取り去ることです。他の呼び方には、乾式エッチングがあります。ドライエッチングはエッチングの一種
ドライエッチングはエッチングの一種です。エッチングとは、集積回路を作るために、不要な部分を腐食・分解して取り去ることです。出典
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