半導体のNA(Numerical Aperture)(開口数)

最終更新日 2024年02月29日

基礎

半導体のNAとはNumerical Apertureの略で、対物レンズの光学的性能を決める要素の一つです。日本語での呼び方には、開口数があります。

NAが大きいほど分解能が高く、プロセスルールの微細化ができます。

・JEITA 半導体用語集 - JEITA半導体部会

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