フォトリソグラフィー

最終更新日 2024年02月20日

フォトリソグラフィーとは

フォトリソグラフィーとは、ウェハー上にフォトレジストを塗り、フォトマスクを重ねて光を照射し、エッチング等を行い集積回路を製造する技術です。他の呼び方には、光リソグラフィー、リソグラフィーがあります。

ウェハーとは、集積回路を作るための基礎となる薄片です。

フォトレジストとは、可視光、紫外線等の光を照射すると変成する素材です。

フォトマスクとは、回路のパターンの原板です。

エッチングとは、集積回路を作るために、不要な部分を腐食・分解して取り去ることです。

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