フォトマスク

最終更新日 2024年02月20日

基礎

フォトマスクとは、回路のパターンの原板です。他の呼び方には、マスク、レチクルがあります。

ウェハーにフォトレジストを塗り、フォトマスクを重ねて光を照射し回路を作ります。エッチング等、他にも回路を作るための処理があります。

・フォトマスク（photomask）とは？ 意味・読み方・使い方をわかりやすく解説 - goo国語辞書

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