半導体のステッパー

最終更新日 2024年02月29日

半導体のステッパーとは

基礎

半導体のステッパーとは、シリコンウェハー上をステップ状に移動し、集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置です。

出典

ステッパー(stepper)とは? 意味・読み方・使い方をわかりやすく解説 - goo国語辞書


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