セルのトラック数とは？

最終更新日 2023年09月07日

IC(集積回路)には多数の回路がありますが、何らかの基準で単位に分けた回路をセルと呼びます。

AND 等、論理回路の基本となる論理ゲートがセルとなることもあれば、データを記憶する回路がセルになることもあります。

セルに関連する話に9トラック等、トラック数が出てきますが、トラック数とは何なのでしょうか。

【後藤弘茂のWeekly海外ニュース】2015年のモバイルSoCやGPUを進化させるファウンダリのFinFETプロセス - PC Watch には、以下のとおり書かれています。(この記事の公開年月日は2014年10月14日)

　ここで重要になるのは、セルの高さ(ハイト)だ。一般に、セルハイトは、上に重なるローカル配線層の配線トラック数で表される。通常はM3の配線トラック数だ。チップのローカル配線は、下から2番目のM2と3番目のM3が直交して走る。セルハイトのトラック数は、ロジックセルを横断するように走る配線層で数える。

セルの高さは、セルの上に何本の配線を走らせることができるのかを示すトラック数で表すようであり、例えばセルが9トラックであれば9本の配線を走らせることができる高さがセルにあるようです。

福田昭のデバイス通信（16）：ARMから見た7nm CMOS時代のCPU設計（5）〜スタンダードセルの「スタンダード」とは何か (1/2) - EE Times Japan には、以下のとおり書かれています。(この記事の公開年月日は2015年3月27日)

　セルの高さは、第2層金属配線（セルを左右に貫いて平行に走る）の本数によって決まっている。例えば9本の第2層金属配線がセルの高さに等しいときは、「9トラックのスタンダードセル」あるいは「SC9」と呼ぶ。

同記事によると、スタンダードセルとは IC(集積回路)の基本となる回路で高さと横幅がスタンダード化(標準化)されているそうです。

スタンダードセルではセルの高さが9トラックであれば SC9 と呼ぶこともあるようですが、SC は Standard Cell の略と考えられます。

【後藤弘茂のWeekly海外ニュース】TSMCの12nmプロセスとスタンダードセルアーキテクチャ - PC Watch には、以下のとおり書かれています。(この記事の公開年月日は2017年11月16日)

　ここで重要な指標の1つは、セルの高さ(セルハイト)だ。一般に、セルハイトは、上に重なるローカル配線層の配線トラック数で表される。半導体プロセスでは、配線は通常「メタル(Metal)」と呼ばれる。9本のメタルトラックが配置できるセルなら、9トラック(9T)セルとなる。

トラックの英語表記 Track の頭文字 T を使って、例えば9トラックなら 9T と表記することもあるようです。

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